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    鍍膜時間設置: 1~5866 sec/ step
    旋涂速度:0~ 2712 rpm
    旋涂加速度:0 ~ 80942 rpm/s (空載)   
    轉速穩定性:1 rpm
    轉速可重復性:1 rpm                                                                                                              
    鍍膜尺寸:φ10 ~ 344 mm                                1
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